防靜電儀器供應(yīng)商
專業(yè)清潔系統(tǒng)供應(yīng)商
ESD門禁系統(tǒng)集成商
Cresbox 半自動四點探針測試儀
EC-80P 手持式非接觸式電阻測試儀
EC-80P手持式非接觸式面電阻測試儀
手持式渦電流非接觸式量測設(shè)備。通過手握探頭，選擇樣品上需要測試的位置進行量測即可，非常適合針對大尺
寸樣品進行量測，同時也具備良好的測試精度及重復(fù)性。
探頭接觸樣品即自動開始測量
可通過JOG旋鈕快速設(shè)定測量條件
5種測量范圍探頭可根據(jù)樣品電阻率進行更換 ?
可選配P/N型判定量測功能
應(yīng)用：硅片樣品， 化合物半導(dǎo)體， 外延層， 擴散層， 碳化硅， 薄膜材料， 金屬膜， ITO IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料
產(chǎn)品規(guī)格：
樣品尺寸： 可測量任意尺寸和形狀的樣品
探頭類型 測量范圍
低:0.01 - -0.5ohm/sq(0.001 - -0.05 ohm.cm)
中:0.5 -10ohm/sq(0.05 -0.5 ohm.cm)
高:10 - 1000ohm/sq(0.5-60 ohm.cm)
超級高:1000 - 3000ohm/sq(60 - 180 ohm.cm)
太陽能晶片:5 - 500ohm/sq(0.2-15 ohm.cm)
Cresbox半自動四點探針Mapping測試儀
桌上型半自動四探針電阻率量測設(shè)備。它可以通過電腦進行控制，編輯測試需要測試的硅片大小，測試點位，運用四探針電阻率量測的原理進行多點測量，可以
通過軟件輸出2D/3D Mapping圖，更高效的完成測量任務(wù)。
用戶可編程的測量模式和可編程的測量模式
測試儀自檢功能，測量范圍寬
硅片的厚度，邊緣和溫度校正
薄膜電阻的薄膜厚度轉(zhuǎn)換功能
應(yīng)用：半導(dǎo)體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、納米銀線等)
? 導(dǎo)電薄膜(金屬、ITO等)，擴散層，硅相關(guān)外延材料，離子注入樣品。
有多點測量功能(最大1225點)，支持Mapping功能，提供2D圖/3D圖像分析。
金屬膜厚換算功能。
測試數(shù)據(jù)可通過CSV格式文件導(dǎo)出。
符合以下ASTM & JIS的要求
JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。
< ASTM >?
ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)
ASTM f374 -00a,
ASTM F 390-11,
ASTM F 1529-97
產(chǎn)品規(guī)格/樣品尺寸：
支持最大8寸，或156x156mm
測量范圍：
V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
電阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm
