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ESD門禁系統(tǒng)集成商
?了解電子精密清洗劑和其中的表面活性劑
隨著科技的發(fā)展進(jìn)步，微電子技術(shù)得到了快速發(fā)展，電子元器件的集成程度越來(lái)越高，給微電子器件的清洗工作帶來(lái)了很大的挑戰(zhàn)，清洗的要求和工藝也越來(lái)越復(fù)雜，其清洗質(zhì)量也會(huì)直接影響電子元件的質(zhì)量和使用壽命。據(jù)官方統(tǒng)計(jì)訊息，目前我國(guó)的電子半導(dǎo)體精密清洗化學(xué)產(chǎn)品，自給自足率一直處于非常低的狀態(tài)，因此提高微電子工藝的清洗技術(shù)水平、實(shí)現(xiàn)本土化的供給，具有十分重要的意義。
集成電路自誕生以來(lái)一直遵循摩爾定律的發(fā)展規(guī)律，即集成度和產(chǎn)品性能每１８?jìng)€(gè)月增加一倍。各種半導(dǎo)體新材料和新器件層出不窮。
電子產(chǎn)品清洗工藝簡(jiǎn)述
電子產(chǎn)品清洗工藝主要有濕法清洗和干法清洗兩種。
濕法清洗技術(shù)
a. 綜合清洗法。綜合清洗法是一種綜合性比較強(qiáng)的清洗技術(shù)，將化學(xué)溶劑法、機(jī)械清洗法進(jìn)行有機(jī)結(jié)合，可以有效清洗表面污染物。（簡(jiǎn)圖供參考）
b. 溶液浸泡法。溶液浸泡法是目前濕法清洗技術(shù)中最常用的方法，將硅片放置溶液中進(jìn)行浸泡，可以有效清除表面污染物。在進(jìn)行清洗工作時(shí)，通常需要進(jìn)行加熱、攪拌等輔助工作，以達(dá)到清洗的目的。
c. 化學(xué)溶劑清洗法。在利用化學(xué)溶劑對(duì)微電子器件進(jìn)行清洗時(shí)，其清洗效果取決于溶劑的選擇。
干法清洗技術(shù)
干法清洗技術(shù)與濕法清洗技術(shù)相對(duì)應(yīng)，干法清洗技術(shù)一般不使用化學(xué)溶液來(lái)進(jìn)行清洗。但部分干法清洗技術(shù)需要使用少量的溶液，因此，根據(jù)其性質(zhì)劃分，又有半干法和全干法兩種。
氣相清洗法。氣相清洗法是半干法的典型代表，在進(jìn)行清洗工作時(shí)需要加入部分溶液，使其與污染物相互作用，從而達(dá)到清洗效果。氣相清洗法具有廣闊的發(fā)展前景，尤其是在負(fù)壓下進(jìn)行清洗，可有效對(duì)電子元件的溝槽和縫隙進(jìn)行清洗。
等離子清洗法。利用等離子技術(shù)進(jìn)行電子元件清洗，比較簡(jiǎn)單，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，清洗成本也比較低。但這種清洗方法很難去除金屬化合物等污染物，并不適合所有清洗工作，因此需要不斷加大技術(shù)創(chuàng)新，以滿足清洗工作的需要。
束流清洗技術(shù)。所謂的束流清洗技術(shù)就是利用束流狀的能量流與污染物相互作用，從而達(dá)到清洗效果。常用的束流方式為激光束流、微集射束流等方式。
典型的在線清洗工藝簡(jiǎn)述
清洗原理
清洗工藝
了解表面活性劑
清洗液濃度的監(jiān)控
在室溫（20℃左右）下，大部分液體的表面張力在20~40達(dá)因/厘米范圍以內(nèi)，但也有大于此數(shù)的，如水的表面張力為72達(dá)因/厘米；理論上，對(duì)于同一種液體，溫度升高，表面張力降低。常見的化學(xué)物質(zhì)表面張力如下：
液體 | 表面張力 | 色散分量 | 極性分量 |
正己烷 | 18.4 | 18.4 | 0.0 |
正庚烷 | 20.4 | 20.4 | 0.0 |
正辛烷 | 21.8 | 21.8 | 0.0 |
| 正葵烷 | 23.9 | 23.9 | 0.0 |
正十四烷 | 25.6 | 25.6 | 0.0 |
硝基乙烷 | 31.9 | 27.5 | 4.4 |
硝基甲烷 | 36.8 | 29.8 | 7.0 |
鄰苯二甲酸乙酯 22°C | 37.,0 | 30.0 | 7.0 |
二甲基甲酰胺 | 37.1 | 29.0 | 8.1 |
四溴乙烷 | 49.7 | 49.7 | 0.0 |
四氯乙烷 | 36.3 | 36.3 | 0.0 |
甲苯 | 28.4 | 26.1 | 2.3 |
磷酸三氯乙烯 | 40.9 | 39.2 | 1.7 |
a-溴鄰苯二甲酸 | 44.4 | 44.4 | 0.0 |
二碘甲烷 | 50.8 | 50.8 | 0.0 |
Water (Rabel) @ 22°C 水 | 72.3 | 18.7 | 53.6 |
Water (Str?m) @ 20°C 水 | 72.8 | 21.8 | 51.0 |
靜態(tài)表面張力定義了物理上的“潤(rùn)濕性”，潤(rùn)濕性好–液體表面張力低，潤(rùn)濕性差–液體表面張力高；動(dòng)態(tài)表面張力決定了液滴的大小和粘附力，在噴涂過程中，表面張力隨時(shí)間的變化而變化。通常條件下，靜態(tài)表面張力的變化并不依賴于濃度，但是動(dòng)態(tài)表面張力隨濃度變化的波動(dòng)十分顯著。動(dòng)態(tài)表面張力可以運(yùn)用于通過監(jiān)控表面活性劑（清洗劑）的以下應(yīng)用：
檢查清潔液的表面活性劑含量（濃度）
清洗液的潤(rùn)濕能力
乳化液體的混合狀態(tài)
通過下圖，舉例說(shuō)明，在線清洗工藝中清洗液濃度（表面活性劑濃度）與動(dòng)態(tài)表面張力值的關(guān)系。由此可見，通過監(jiān)測(cè)清洗工藝過程的清洗液動(dòng)態(tài)表面張力，可以有效的監(jiān)控清洗液的功效，實(shí)現(xiàn)最經(jīng)濟(jì)的新鮮清洗劑原液補(bǔ)償方案。
關(guān)于清洗液濃度的測(cè)定原理還有很多種類，在實(shí)際的應(yīng)用中，各自有各自的特點(diǎn)，需要通過大量的實(shí)際數(shù)據(jù)積累，方能辨別優(yōu)缺。除此之外，還有大量的通過折光儀（利用利用光線測(cè)試液體濃度的儀器）、超聲波濃度儀（利用高頻聲波測(cè)試液體濃度的儀器）、比重濃度計(jì)（利用比重變化值測(cè)試液體濃度），等等。
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